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THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格

thk 2018-07-24 技术资讯 836 ℃ 0 评论
  LM滚动导轨确定精度精度规格LM滚动导轨的精度可分为行走平行度、高度、宽度的容许尺寸公差。1根轴上使用几个LM滑块时,或同一平面上安有几根轴时,规定了各型号的高度、宽度的成组相互公差。

  详细情况请参照 A1-75 至 A1-85 各型号的精度规格。

  【行走平行度】将LM轨道用螺栓固定在基准基础面上,使LM滑块在LM轨道全长上运动时,LM滑块与LM轨道基准面之间的平行度误差。

  图11  行走平行度【高度M的成组相互公差】组装在同一平面上的各个LM滑块的高度(M)尺寸的最小值与最大值之差。

  【宽度W 2 的成组相互公差】组装在1根LM轨道上的各个LM滑块与LM轨道间的宽度(W 2 )尺寸的最大值与最小值之差。

  注1) 在同一平面上2轴以上平行使用时,宽度(W 2 )的容许尺寸公差、成组相互公差只适用于基准侧。在基准侧LM轨道的编号末尾印有“KB”标记。但是,普通级产品除外。

 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第1张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第2张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第3张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第4张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第5张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第6张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数 THK直线导轨精度规格-按使用机种划分精度等级的基准和各种型号的精度规格 技术资讯 第7张图片,THK直线导轨样本图,图纸、型号、安装、选型、样本图、规格、安装说明、安装方法图、尺寸表、型号参数


  基准侧标记制造编号图12  基准侧的LM轨道(例. HSR-A型)

  注2) 精度测定值表示的是LM滑块中心点或中心部的平均值。

  注3) 安装在像铝基座之类无刚性的地方使用时,LM轨道的弯曲会影响机械精度,故有必要事前规定LM轨道的直线度。

  选择的要点确定精度511CA1-74按使用机种划分精度等级的基准表13 表示根据使用机种来选择LM滚动导轨精度等级的基准。

  表13   按使用机种划分精度等级的基准机种名 精度等级普通 H P SP UP工具机加工中心机 ● ●车床 ● ●铣床 ● ●钻探机 ● ●坐标镗床 ● ●磨床 ● ●放电加工机 ● ● ●冲切机 ● ●激光加工机 ● ● ●木工机 ● ● ●NC钻床 ● ●攻丝中心机 ● ●旋装工作台 ●ATC ●线切割机床 ● ●精整加工用机床 ● ●工业用机器人直角座标型 ● ● ●柱面座标型 ● ●半导体制造装置引线焊接机 ● ●探针 ● ●电子元件插入机 ● ●印刷电路板钻孔机 ● ● ●其它装置射出成形机 ● ●三坐标测量设备 ● ●办公设备 ● ●搬送装置 ● ●XY工作台 ● ● ●涂装机 ● ●焊机 ● ●医疗机器 ● ●数字转换器 ● ● ●检查装置 ● ● ●普通 ∶普通级H ∶高级P ∶精密级SP ∶超精密级UP ∶超超精密级511CA1-75LM滚动导轨各种型号的精度规格● SHS,SSR,SVR/SVS,SHW,HSR,SR,NR/NRS-X,NR/NRS,HRW,NSR-TBC,HSR-M1,HSR-M1VV,SR-M1,HSRM2,SRG和SRN型的精度如A1-76表15 所示,可以按型号划分为普通级(无标记)、高级(H)、精密级(P)、超精密级(SP)以及超超精密级(UP)。

  BMW2CDA图13表14   按精度等级规格分类的LM轨道长度和行走平行度 单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级 精密级 超精密级 超超精密级— 50 5 3 2 1.5 150 80 5 3 2 1.5 180 125 5 3 2 1.5 1125 200 5 3.5 2 1.5 1200 250 6 4 2.5 1.5 1250 315 7 4.5 3 1.5 1315 400 8 5 3.5 2 1.5400 500 9 6 4.5 2.5 1.5500 630 11 7 5 3 2630 800 12 8.5 6 3.5 2800 1000 13 9 6.5 4 2.51000 1250 15 11 7.5 4.5 31250 1600 16 12 8 5 41600 2000 18 13 8.5 5.5 4.52000 2500 20 14 9.5 6 52500 3090 21 16 11 6.5 5.5选择的要点确定精度511CA1-76表15   SHS,SSR,SVR/SVS,SHW,HSR,SR,NR/NRS-X,NR/NRS,HRW,NSR-TBC,HSR-M1,HSR-M1VV,SR-M1,HSR-M2,SRG和SRN型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级 精密级 超精密级 超超精密级项目 无标记 H P SP UP8101214高度M的容许尺寸公差 0.07 0.03 0.015 0.007 —高度M的成组相互公差 0.015 0.007 0.005 0.003 —宽度W 2 的容许尺寸公差 0.04 0.02 0.01 0.007 —宽度W 2 的成组相互公差 0.02 0.01 0.006 0.004 —相对于A面的C面行走平行度 C(参照 A1-75 表14 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 A1-75 表14 )

  15172021高度M的容许尺寸公差 0.07 0.03 0‒0.030‒0.0150‒0.008高度M的成组相互公差 0.02 0.01 0.006 0.004 0.003宽度W 2 的容许尺寸公差 0.06 0.03 0‒0.020‒0.0150‒0.008宽度W 2 的成组相互公差 0.02 0.01 0.006 0.004 0.003相对于A面的C面行走平行度 C(参照 A1-75 表14 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 A1-75 表14 )

  25273035高度M的容许尺寸公差 0.08 0.04 0‒0.040‒0.020‒0.01高度M的成组相互公差 0.02 0.015 0.007 0.005 0.003宽度W 2 的容许尺寸公差 0.07 0.03 0‒0.030‒0.0150‒0.01宽度W 2 的成组相互公差 0.025 0.015 0.007 0.005 0.003相对于A面的C面行走平行度 C(参照 A1-75 表14 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 A1-75 表14 )

  4045505560高度M的容许尺寸公差 0.08 0.04 0‒0.050‒0.030‒0.015高度M的成组相互公差 0.025 0.015 0.007 0.005 0.003宽度W 2 的容许尺寸公差 0.07 0.04 0‒0.040‒0.0250‒0.015宽度W 2 的成组相互公差 0.03 0.015 0.007 0.005 0.003相对于A面的C面行走平行度 C(参照 A1-75 表14 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 A1-75 表14 )

  65707585100120150高度M的容许尺寸公差 0.08 0.04 0‒0.050‒0.040‒0.03高度M的成组相互公差 0.03 0.02 0.01 0.007 0.005宽度W 2 的容许尺寸公差 0.08 0.04 0‒0.050‒0.040‒0.03宽度W 2 的成组相互公差 0.03 0.02 0.01 0.007 0.005相对于A面的C面行走平行度 C(参照 A1-75 表14 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 A1-75 表14 )

  注1) SRG35~65型的精度等级为高级以上,其他型号为精密级以上。(不提供Ct7级、Ct5级和普通级。)

  注2) 对于SRN型,其精度等级只有精密级以上。(不提供普通级和高级。)

  511CA1-77LM滚动导轨选择的要点确定精度● HMG型的精度如 表16 所示,按具体型号进行了规定。

  W2BDCAM图14表16   HMG型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级项目 无标记15高度M的容许尺寸公差 0.1高度M的成组相互公差 0.02宽度W 2 的容许尺寸公差 0.1宽度W 2 的成组相互公差 0.02相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表17 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表17 )

  2535高度M的容许尺寸公差 0.1高度M的成组相互公差 0.02宽度W 2 的容许尺寸公差 0.1宽度W 2 的成组相互公差 0.03相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表17 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表17 )

  4565高度M的容许尺寸公差 0.1高度M的成组相互公差 0.03宽度W 2 的容许尺寸公差 0.1宽度W 2 的成组相互公差 0.03相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表17 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表17 )

  表17   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级— 125 30125 200 37200 250 40250 315 44315 400 49400 500 53500 630 58630 800 64800 1000 701000 1250 771250 1600 841600 2000 92511CA1-78● HCR型的精度如 表18 所示,可以按型号划分为普通级和高级。

  MCA图15表18   HCR型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级项目 无标记 H12152535高度M的容许尺寸公差 0.2 0.2高度M的成组相互公差 0.05 0.03相对于A面的LM滑块C面的行走平行度 C(参照 表19 )

  4565高度M的容许尺寸公差 0.2 0.2高度M的成组相互公差 0.06 0.04相对于A面的LM滑块C面的行走平行度 C(参照 表19 )

  表19   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级— 125 30 15125 200 37 18200 250 40 20250 315 44 22315 400 49 24400 500 53 26500 630 58 29630 800 64 32800 1000 70 351000 1250 77 381250 1600 84 421600 2000 92 46● JR型的精度如 表20 所示,按具体型号进行了规定。

  MCA图16表20   JR型的精度规格 单位∶mm型号 精度规格 普通级项目 无标记2535高度M的成组相互公差 0.05相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表21 )

  4555高度M的成组相互公差 0.06相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表21 )

  表21   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级— 50 550 80 580 125 5125 200 6200 250 8250 315 9315 400 11400 500 13500 630 15630 800 17800 1000 191000 1250 211250 1600 231600 2000 262000 2500 282500 3150 303150 4000 33511CA1-79LM滚动导轨选择的要点确定精度● SCR型和CSR型的精度如 表22 所示,可以按具体型号划分为精密级、超精密级和超超精密级。

  F D CA BME图17表22   SCR和CSR型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 精密级 超精密级 超超精密级项目 P SP UP1520高度M的成组相互公差 0.01 0.007 0.005相对于B面的D面的垂直度 0.005 0.004 0.003相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表23 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表23 )

  25高度M的成组相互公差 0.01 0.007 0.005相对于B面的D面的垂直度 0.008 0.006 0.004相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表23 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表23 )

  3035高度M的成组相互公差 0.01 0.007 0.005相对于B面的D面的垂直度 0.01 0.007 0.005相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表23 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表23 )

  45高度M的成组相互公差 0.012 0.008 0.006相对于B面的D面的垂直度 0.012 0.008 0.006相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表23 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表23 )

  65高度M的成组相互公差 0.018 0.012 0.009相对于B面的D面的垂直度 0.018 0.012 0.009相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表23 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表23 )

  表23   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 精密级 超精密级 超超精密级— 50 2 1.5 150 80 2 1.5 180 125 2 1.5 1125 200 2 1.5 1200 250 2.5 1.5 1250 315 3 1.5 1315 400 3.5 2 1.5400 500 4.5 2.5 1.5500 630 5 3 2630 800 6 3.5 2800 1000 6.5 4 2.51000 1250 7.5 4.5 31250 1600 8 5 41600 2000 8.5 5.5 4.52000 2500 9.5 6 52500 3090 11 6.5 5.5511CA1-80● HR型的精度如 表24 所示,可以划分为普通级、高级、精密级、超精密级和超超精密级。

  W0BAM图18表24   HR型的精度规格 单位∶mm精度规格 普通级 高级 精密级 超精密级 超超精密级项目 无标记 H P SP UP高度M的容许尺寸公差 0.1 0.05 0.025 0.015 0.01高度M的成组相互公差 注1) 0.03 0.02 0.01 0.005 0.003总宽度W 0 的容许尺寸公差 0.1 0.05总宽度W 0 的成组相互公差 注2) 0.03 0.015 0.01 0.005 0.003滚动面对A面和B面的平行度 C(参照 表25 )

  注1) 高度M的成组相互公差适用于同一平面上的1套LM滚动导轨。

  注2) 总宽度(W 0 )的成组相互公差适用于同一LM轨道上的LM滑块组合。

  注3) 精密级或更高等级的总宽度(W 0 )的容许尺寸公差和成组相互公差只适用于1套LM滚动导轨的基准侧。在基准侧轨道的制造编号末尾印有“KB”标记。

  表25   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度 单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级 精密级 超精密级 超超精密级— 50 5 3 2 1.5 150 80 5 3 2 1.5 180 125 5 3 2 1.5 1125 200 5 3.5 2 1.5 1200 250 6 4 2.5 1.5 1250 315 7 4.5 3 1.5 1315 400 8 5 3.5 2 1.5400 500 9 6 4.5 2.5 1.5500 630 11 7 5 3 2630 800 12 8.5 6 3.5 2800 1000 13 9 6.5 4 2.51000 1250 15 11 7.5 4.5 31250 1600 16 12 8 5 41600 2000 18 13 8.5 5.5 4.52000 2500 20 14 9.5 6 52500 3000 21 16 11 6.5 5.5511CA1-81LM滚动导轨选择的要点确定精度● GSR型的精度如 表26 所示,可以按具体型号划分为普通级、高级和精密级。

  MCDB A图19表26   GSR型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级 精密级项目 无标记 H P1520高度M的容许尺寸公差 0.02相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表27 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表27 )

  253035高度M的容许尺寸公差 0.03相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表27 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表27 )

  表27   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级 精密级— 50 5 3 250 80 5 3 280 125 5 3 2125 200 5 3.5 2200 250 6 4 2.5250 315 7 4.5 3315 400 8 5 3.5400 500 9 6 4.5500 630 11 7 5630 800 12 8.5 6800 1000 13 9 6.51000 1250 15 11 7.51250 1600 16 12 81600 2000 18 13 8.52000 2500 20 14 9.52500 3000 21 16 11● GSR-R型的精度如 表28 所示,可以按具体型号划分为普通级和高级。

  MCDBA图20表28   GSR-R型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级项目 无标记 H253035高度M的容许尺寸公差 0.03相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表29 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表29 )

  表29   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级— 50 5 350 80 5 380 125 5 3125 200 5 3.5200 250 6 4250 315 7 4.5315 400 8 5400 500 9 6500 630 11 7630 800 12 8.5800 1000 13 91000 1250 15 111250 1600 16 121600 2000 18 13511CA1-82● SRS, RSR, RSR-M1和RSR-W型的精度如 表30 所示,可以按具体型号划分为普通级、高级和精密级。

  DB AW2MC图21表30   SRS, RSR, RSR-M1和RSR-W型的精度规格单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级 精密级项目 无标记 H P35高度M的容许尺寸公差 0.03 — 0.015高度M的成组相互公差 0.015 — 0.005宽度W 2 的容许尺寸公差 0.03 — 0.015宽度W 2 的成组相互公差 0.015 — 0.005相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表31 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表31 )

  791214152025高度M的容许尺寸公差 0.04 0.02 0.01高度M的成组相互公差 0.03 0.015 0.007宽度W 2 的容许尺寸公差 0.04 0.025 0.015宽度W 2 的成组相互公差 0.03 0.02 0.01相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表32 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表32 )

  表31   按精度规格分类的SRS5型,RSR3,5型LM轨道的长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 精密级— 25 2.5 1.525 50 3.5 250 100 5.5 3100 150 7 4150 200 8.4 5表32   按精度规格分类的SRS7~25型,RSR7~25型LM轨道的长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 高级 精密级— 40 8 4 140 70 10 4 170 100 11 4 2100 130 12 5 2130 160 13 6 2160 190 14 7 2190 220 15 7 3220 250 16 8 3250 280 17 8 3280 310 17 9 3310 340 18 9 3340 370 18 10 3370 400 19 10 3400 430 20 11 4430 460 20 12 4460 520 21 12 4520 550 22 12 4550 640 22 13 4640 670 23 13 4670 700 23 13 5700 820 23 14 5820 850 24 14 5850 970 24 15 5970 1030 25 16 51030 1150 25 16 61150 1330 26 17 61330 1420 27 18 61420 1510 27 18 71510 1830 28 19 71830 2000 28 19 8511CA1-83LM滚动导轨选择的要点确定精度● MX型的精度如 表33 所示,可以按具体型号划分为普通级和精密级。

  CF DMABE图22表33   MX型的精度规格单位∶mm型号精度规格 普通级 精密级项目 无标记 P5高度M的成组相互公差 0.015 0.005相对于B面的D面的垂直度 0.003 0.002相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表34 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表34 )

  7高度M的成组相互公差 0.03 0.007相对于B面的D面的垂直度 0.01 0.005相对于B面的E面的行走平行度 C(参照 表35 )

  相对于D面的F面的行走平行度 D(参照 表35 )

  表34   按精度规格分类的MX5型LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 精密级— 25 2.5 1.525 50 3.5 250 100 5.5 3100 150 7 4150 200 8.4 5表35   按精度规格分类的MX7型LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 普通级 精密级— 40 8 140 70 10 170 100 11 2100 130 12 2130 160 13 2160 190 14 2190 220 15 3220 250 16 3250 280 17 3280 310 17 3310 340 18 3340 370 18 3370 400 19 3511CA1-84● SRW型的精度如 表36 所示,可以按具体型号划分为精密级、超精密级和超超精密级。

  DCMABW2图23表36   SRW型的精度规格单位∶mm型号精度规格 精密级 超精密级 超超精密级项目 P SP UP7085高度M的容许尺寸公差 0‒0.050‒0.030‒0.015高度M的成组相互公差 0.007 0.005 0.003宽度W 2 的容许尺寸公差 0‒0.040‒0.0250‒0.015宽度W 2 的成组相互公差 0.007 0.005 0.003相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表37 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表37 )

  100高度M的容许尺寸公差 0‒0.050‒0.040‒0.03高度M的成组相互公差 0.01 0.007 0.005宽度W 2 的容许尺寸公差 0‒0.050‒0.040‒0.03宽度W 2 的成组相互公差 0.01 0.007 0.005相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表37 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表37 )

  130150高度M的容许尺寸公差 0‒0.050‒0.040‒0.03高度M的成组相互公差 0.01 0.007 0.005宽度W 2 的容许尺寸公差 0‒0.050‒0.040‒0.03宽度W 2 的成组相互公差 0.01 0.007 0.005相对于A面的C面行走平行度 C(参照 表37 )

  相对于B面的D面行走平行度 D(参照 表37 )

  表37   按精度规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下 精密级 超精密级 超超精密级— 50 2 1.5 150 80 2 1.5 180 125 2 1.5 1125 200 2 1.5 1200 250 2.5 1.5 1250 315 3 1.5 1315 400 3.5 2 1.5400 500 4.5 2.5 1.5500 630 5 3 2630 800 6 3.5 2800 1000 6.5 4 2.51000 1250 7.5 4.5 31250 1600 8 5 41600 2000 8.5 5.5 4.52000 2500 9.5 6 52500 3090 11 6.5 5.5511CA1-85LM滚动导轨选择的要点确定精度● EPF型的精度如 表38 所示,可以按具体型号划分为普通级、高级和精密级。

  MW2ADCB图24表38   EPF型精度规格 单位∶mm型号 精度规格 普通级 高级 精密级项目 无标记 H P7M9M12M15M高度M的容许尺寸公差 0.04 0.02 0.01高度M的成组相互公差 0.03 0.015 0.007宽度W 2 的容许尺寸公差 0.04 0.025 0.015相对于A面的C面行走平行度 注) 0.008 0.004 0.001相对于B面的D面行走平行度 注) 0.008 0.004 0.001注) 行程超过40mm时,请咨询THK

  ● SR-MS型的精度如 表39 所示,可以按具体型号划分为精密级、超精密级和超超精密级。

  CAD BMW2图25表39   SR-MS型的精度规格 单位∶mm公称型号 精度规格 精密级 超精密级 超超精密级项目 P SP UP1520高度M的容许尺寸公差0‒0.030‒0.0150‒0.008高度M的成组相互公差 0.006 0.004 0.003宽度W 2 的容许尺寸公差0‒0.020‒0.0150‒0.008宽度W 2 的成组相互公差 0.006 0.004 0.003相对于A面的C面行走平行度C(参照 表40 )

  相对于B面的D面行走平行度D(参照 表40 )

  表40   按精度等级规格分类的LM轨道长度和行走平行度单位∶mLM轨道长度(mm) 行走平行度的值以上 以下精密级 超精密级 超超精密级P SP UP— 50 2 1.5 150 80 2 1.5 180 125 2 1.5 1125 200 2 1.5 1200 250 2.5 1.5 1250 315 3 1.5 1315 400 3.5 2 1.5511CA1-86511C

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